TESCAN SOLARIS 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統(tǒng)，適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，這些任務(wù)要求設(shè)備具有良好的分辨率、先進(jìn)的離子光學(xué)系統(tǒng)和納米加工能力。TESCAN SOLARIS 的 Triglav? 型 SEM 鏡筒具有超高的分辨率，特別是在低電壓下；鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)具有電子信號(hào)過(guò)濾能力，為獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度翻開(kāi)了全新的篇章。TESCAN SOLARIS 的 Orage? 型 FIB 鏡筒提供不僅為納米加工提供了良好的精度，還具備很高的離子束流，因此可以滿(mǎn)足大體積加工和分析的需求。
出色的低電壓離子束分辨率和性能使得 TESCAN SOLARIS 有能力制備小于 20 nm 的、半導(dǎo)體器件良好質(zhì)量的超薄 TEM 樣品。此外，高達(dá) 100 nA 的大離子束流可以對(duì)生物樣品和材料進(jìn)行指定位置的、大體積 FIB-SEM 逐層掃描，圖像也具有出色的襯度。TESCAN SOLARIS 使用了全新的 Essence? 軟件，軟件用戶(hù)界面友好，可以滿(mǎn)足各類(lèi)應(yīng)用需求，可定制的軟件布局以及自動(dòng)化的樣品制備功能，最大限度地提升了操作便捷性和工作效率。
主要優(yōu)勢(shì)
良好的樣品制備質(zhì)量
Orage? FIB 鏡筒采用先進(jìn)的離子光學(xué)設(shè)計(jì)，在整個(gè)電壓范圍內(nèi)均可以保證良好的分辨率，同時(shí)還可以提供多種樣品制備條件。低電壓下的出色性能使得該 FIB 鏡筒可以執(zhí)行具有挑戰(zhàn)性的納米加工任務(wù)，它可以在低電壓下完成最后拋光并獲得小于 20 nm 且具有高品質(zhì)的超薄 TEM 樣品。
高效的制備各類(lèi)樣品
Orage? 鏡筒能夠產(chǎn)生高達(dá) 100 nA 的離子束流，同時(shí)保證離子束的質(zhì)量。因此，無(wú)論是在低離子束流下制備精密的納米結(jié)構(gòu)，還是利用高離子束流以滿(mǎn)足大體積蝕刻的要求，Orage?鏡筒良好的多功能性都可以滿(mǎn)足該類(lèi)應(yīng)用需求。
具有高品質(zhì)的納米加工
越來(lái)越多的 FIB 應(yīng)用需要在低電壓下完成，Orage? 鏡筒的最低電壓可至 500 V，因此可以進(jìn)行更微量的加工，例如完成 TEM 樣品的最終拋光，盡可能減少非晶化。該樣品制備方法同樣適用于 制備 EBSD 分析的樣品，或用于對(duì)去層之后完成最終拋光的小于 20 nm 芯片的結(jié)構(gòu)表征。
更充分的利用離子束
快速、高效、高性能的氣體注入系統(tǒng)（GIS）對(duì)于所有 FIB 應(yīng)用都是必不可少的。新一代 OptiGIS? 單支氣體注入系統(tǒng)具備了所有的這些特性，TESCAN SOLARIS 可配備多達(dá) 3 支 OptiGIS。您也可以選擇集成了 5 支同軸噴嘴的氣體注入系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)更多樣化的功能。此外，我們還可以提供不同的特殊氣體和實(shí)用的平面IC去層方案。
輕松實(shí)現(xiàn)高精度和良好的 FIB 性能
Orage? 型 FIB 鏡筒配有超穩(wěn)定的高壓?jiǎn)卧途_的壓電驅(qū)動(dòng)光闌變換器，可在 FIB 預(yù)設(shè)的參數(shù)上快速且高精度的重復(fù)切換。 此外，半自動(dòng)的束斑優(yōu)化向?qū)г试S用戶(hù)輕松選擇理想的束斑，優(yōu)化特定應(yīng)用下的 FIB 條件。
更加優(yōu)秀的成像能力
新一代 Triglav? 鏡筒中的鏡筒內(nèi)探測(cè)器系統(tǒng)經(jīng)過(guò)進(jìn)一步優(yōu)化，信號(hào)檢測(cè)效率提高了三倍以上。此外，該系統(tǒng)還擴(kuò)展了檢測(cè)能力，能夠采集能量過(guò)濾后的軸向背散射電子信號(hào)，這樣就可以通過(guò)選擇性地收集低損耗背散射電子來(lái)獲得更好的襯度和表面靈敏度。
增強(qiáng)的表面靈敏度、襯度
新一代Triglav? 鏡筒可以提供的電子信號(hào)選擇檢測(cè)功能，這一功能可以幫助用戶(hù)獲得更好的表面靈敏度并能夠獲得不同的襯度。圖像中可以體現(xiàn)形貌或是3材料成分，也可以同時(shí)體現(xiàn)這兩者，以便用戶(hù)能夠在最短時(shí)間內(nèi)最大限度地觀察樣品。
快速三維分析功能
新型強(qiáng)化的鏡筒內(nèi)探測(cè)系統(tǒng)結(jié)合高達(dá) 100 nA 的大離子束流，可實(shí)現(xiàn)快速數(shù)據(jù)采集，用于 3D 超微結(jié)構(gòu)研究和 3D 微量分析表征。在 FIB-SEM 層析成像過(guò)程中，能夠同時(shí)獲得 EDS 和 EBSD 數(shù)據(jù)，并通過(guò)專(zhuān)用軟件進(jìn)行三維重構(gòu)，為生命科學(xué)或納米材料研究者提供獨(dú)特的視角和結(jié)果。
保證良好的分析條件
新一代 Triglav?鏡筒還具有自適應(yīng)束斑優(yōu)化功能，可以提高了大束流下的分辨率，這一特點(diǎn)有利于更好的進(jìn)行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。此外，肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍能夠產(chǎn)生高達(dá) 400 nA 的電子束流，電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應(yīng)用下都能夠獲得良好的信號(hào)；在進(jìn)行大離子束流加工時(shí)，也可針對(duì)不導(dǎo)電試樣進(jìn)行電荷中和。
大晶圓分析
優(yōu)化的 60° 物鏡設(shè)計(jì)和超大樣品室，保證在 6” 8” 晶圓的任何位置都能夠進(jìn)行無(wú)死角的 SEM 和 FIB 分析。
讓復(fù)雜的應(yīng)用變的非常的簡(jiǎn)單
新一代 TESCAN Essence? 是一款簡(jiǎn)化的、支持多用戶(hù)的軟件，它的布局管理器可以幫助用戶(hù)快速、方便地訪問(wèn)所有主要功能。軟件界面可自定義，以更好地適應(yīng)特定的應(yīng)用方向，符合不同用戶(hù)的使用偏好。軟件的各種功能模塊、向?qū)Ш蛻?yīng)用方案使得無(wú)論是入門(mén)級(jí)用戶(hù)或是專(zhuān)家級(jí)用戶(hù)都能夠輕松順暢的體驗(yàn) FIB-SEM 應(yīng)用，從而提高工作效率，加快樣品的處理速度。TESCAN Essence? 還提供先進(jìn)的 DrawBeam? 功能，基于矢量的掃描發(fā)生器，用于進(jìn)行快速精確的 FIB 加工和電子束光刻。
