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高度集成、旋進(jìn)輔助的分析型 4D- STEM

TESCAN TENSOR 是一款中等加速電壓、近超高真空的集成 4D-STEM， 用于對(duì)功能材料、薄膜、天然和合成顆粒的納米級(jí)形態(tài)、化學(xué)和結(jié)構(gòu)特性進(jìn)行多模態(tài)表征，具有出色的 4D-STEM 性能和良好的普遍適用性。

測(cè)量功能:

TESCAN TENSOR 為材料科學(xué)家、半導(dǎo)體研發(fā)和失效分析人員以及晶體學(xué)家提供了眾多已預(yù)設(shè)的STEM、4D- STEM和斷層掃描測(cè)量的參數(shù):

? STEM BF, ADF 和 HAADF 成像
? STEM 晶格像
? 成分 (能譜分析和元素面掃)
? 取向 / 物相分布成像
? 應(yīng)力分布圖
? 虛擬 STEM
? STEM 和 EDS 重構(gòu)
? 衍射重構(gòu)

性能:

TESCAN 從零開始開發(fā)了全新的 TENSOR，優(yōu)化了STEM 掃描的同步功能：

? 混合像素的直接電子衍射相機(jī)衍射成像
? 2個(gè)無窗EDS探測(cè)器(2個(gè)大立體角)進(jìn)行快速地能譜采集
? 快速，旋進(jìn)電子束頻率高達(dá) 72kHz
? 一體化的靜電束閘
? 近實(shí)時(shí)4D-STEM數(shù)據(jù)分析、處理和可視化軟件(TESCAN Explore)
? 都集成在模塊化、中高壓、近超高真空 (樣品區(qū)域真空達(dá)到10^-6 Pa) 的肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍上

可用性:

TESCAN TENSOR 是一臺(tái)可以像掃描電鏡一樣易于使用的掃透電鏡（STEM）。它可以讓使用者把時(shí)間花在樣品分析上，而不是浪費(fèi)于參數(shù)調(diào)整。新手用戶只需要最少時(shí)間的訓(xùn)練，就能很快獲得結(jié)果。有經(jīng)驗(yàn)的用戶可以使用選配的 API 開發(fā)適合自己的測(cè)量功能，并通過 HyperSpy、LiberTEM 或? Py4DSTEM 等開放平臺(tái)的解決方案導(dǎo)出 TENSOR 4D- STEM 的數(shù)據(jù)集進(jìn)行離線處理。